میکروسکوپ نیروی اتمی یا میکروسکوپ نیروی پویشی در سال ۱۹۸۶ توسط کوئِیْت، بنینگ و گربر اختراع شد. مانند تمام میکروسکوپهای پراب پویشی دیگر، از یک پراب (probe) تیز که بر روی سطح نمونهٔ تحت بررسی حرکت میکند، استفاده میکند.