طیف‌سنجی فوتوالکترون پرتو ایکس (XPS) گونه‌ای طیف‌سنجی کمی‌ست که در آن با تاباندن پرتو ایکس و اندازه گیری همزمان تعداد الکترون آزاد شده از در فاصله 1 تا 10 نانو متری سطح، و انرژی جنبشی این الکترونها، طیف‌هایی بدست می‌آید که بیانگر برخی ویژگی‌های ماده است. این روش نیاز به خلا بسیار بالا دارد.