انباشت به روش تبخیر شیمیایی یا رسوب شیمیایی فاز بخار (CVD) یکی از روش‌های شیمیایی ست که در تولید لایه‌های بسیار خالص میکروبلورین در فناوری نیم رساناها به کار می‌رود.
غالباً انباشت روی زیر لایه‌ای از ماده مشابه (مانند سیلیسیم روی سیلیسم)انجام می‌شود. این انباشت ممکن است از طریق چند نوع واکنش شیمیایی انجام شود: گرماکافت که در آن از دمای زیاد برای تجزیه ماده استفاده می‌شود. نورکافت که در آن از نور فرابنفش یا فروسرخ برای تجزیه ترکیب‌های گازی استفاده می‌شود.