این روش در اوایل دهه ۸۰ میلادی در مرکز تحقیقات هسته ای سابق کارلسروهه در یک تیم به مدیریت ولفگانگ ارفلد و اروین ویلی بکر برای تولید قطعاتی با کاربرد در یک روش غنی سازی اورانیوم ایجاد شد.
مهمترین مراحل ساخت با روش لیگا عبارتند از:
طراحی و ساخت ماسک اولیه، با یک لایه جاذب از جنس طلا به ارتفاع حدوداً ۲ میکرومتر، با کمک طرحنگارالکترونی و آبکاری با طلا.
رونویسی ماسک اولیه روی ماسک کار با لایه جاذب از جنس طلا با ارتفاع حدوداً ۲۵ میکرومتر، با کمک طرح نگاری عمیق پرتو رونتگن و آبکاری با طلا.
رونویسی ماسک کار بر روی یک لایه ۱۰۰ الی ۳۰۰۰ میکرومتری پلاستیکی با روش طرح نگاری عمیق پرتو رونتگن و حل کردن قسمتهای نور دیده در محلول شیمیایی.
آبکاری فلزاتی نظیر طلا، نیکل یا مس در داخل قالب پلاستیکی برای ایجاد ساختار میکرو یا یک مهر برجسته از ساختار مورد نظر.
تولید انبوه ساختار میکرو با انتقال ساختارهای روی مهر بر روی پلاستیک یا مواد دیگر در دمای بالا.
