مخفف کلمه LIGA
( Lithographie، Gablvanoformung، Abformung ) لیگا (LIGA) مخفف کلمات آلمانی نشان دهنده مراحل مختلف این فرایند ساخت، یعنی Lithographie، Gablvanoformung، Abformung (لیتوگرافی، آبکاری و قالب دهی) است. لیگا یک روش برای تولید قطعاتی با ساختار میکرومتری است. کوچکترین بعد ساختار تولید شده با این روش می‌تواند تا ۰/۲ میکرومتر طول و ارتفاعی تا ۳ میلی‌متر و نسبت ابعادی تا ۵۰ داشته باشد. با این روش می‌توان قطعاتی از جنس پلاستیک، فلز یا سرامیک ساخت. LIGA در فناوری میکرو، به ویژه میکرو اپتیک و اکثراً در مواقعی که به نسبت ابعادی بالا نیاز است، استفاده می‌شود.
این روش در اوایل دهه ۸۰ میلادی در مرکز تحقیقات هسته ای سابق کارلسروهه در یک تیم به مدیریت ولفگانگ ارفلد و اروین ویلی بکر برای تولید قطعاتی با کاربرد در یک روش غنی سازی اورانیوم ایجاد شد.
مهمترین مراحل ساخت با روش لیگا عبارتند از:
طراحی و ساخت ماسک اولیه، با یک لایه جاذب از جنس طلا به ارتفاع حدوداً ۲ میکرومتر، با کمک طرح‌نگارالکترونی و آبکاری با طلا.
رونویسی ماسک اولیه روی ماسک کار با لایه جاذب از جنس طلا با ارتفاع حدوداً ۲۵ میکرومتر، با کمک طرح نگاری عمیق پرتو رونتگن و آبکاری با طلا.
رونویسی ماسک کار بر روی یک لایه ۱۰۰ الی ۳۰۰۰ میکرومتری پلاستیکی با روش طرح نگاری عمیق پرتو رونتگن و حل کردن قسمت‌های نور دیده در محلول شیمیایی.
آبکاری فلزاتی نظیر طلا، نیکل یا مس در داخل قالب پلاستیکی برای ایجاد ساختار میکرو یا یک مهر برجسته از ساختار مورد نظر.
تولید انبوه ساختار میکرو با انتقال ساختارهای روی مهر بر روی پلاستیک یا مواد دیگر در دمای بالا.
بازگشت به صفحه قبل