غالباً انباشت روی زیر لایهای از ماده مشابه (مانند سیلیسیم روی سیلیسم)انجام میشود. این انباشت ممکن است از طریق چند نوع واکنش شیمیایی انجام شود: گرماکافت که در آن از دمای زیاد برای تجزیه ماده استفاده میشود. نورکافت که در آن از نور فرابنفش یا فروسرخ برای تجزیه ترکیبهای گازی استفاده میشود.
